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      日本ULVAC愛發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵 LR 系列
      
            
            
      
              
      日本ULVAC愛發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵 LR 系列
      通過低溫區(qū)域的泵體均熱化，在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時(shí)間的重要的備料下料室排氣的一款泵。
      
            
      
            
        
              
      • 更新時(shí)間：2024-05-31
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      • 產(chǎn)品型號(hào)：LR421-T
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      • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
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      • 訪  問  量：425
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      聯(lián)系電話：0755-22220219
      
            
      
          
      
    
      
  
      
    
    
      
            	
      產(chǎn)品詳情
      
                
      
                	
      日本ULVAC愛發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵 LR 系列 
      日本ULVAC愛發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵 LR 系列 

      特點(diǎn)
      低溫區(qū)域均熱化（LR系列）
      在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時(shí)間的重要的備料下料室排氣的一款泵。
      氦氣密封
      通過搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。
      瞬停對(duì)策
      采取了1000msec以內(nèi)瞬停對(duì)策。
      出色的耐腐蝕性
      主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對(duì)泵內(nèi)部的腐蝕。
      通信功能
      可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用專用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信，則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。

      用途
      成膜裝置（濺射裝置/蒸鍍裝置等）
      縮短備料下料室的排氣時(shí)間
      作為輔助排氣泵（渦輪分子泵、機(jī)械增壓泵的輔助排氣）

      池田屋實(shí)業(yè)(深圳)有限公司成立于2015年，位于廣東省深圳市，是一家從事中日貿(mào)易的企業(yè)。
      公司經(jīng)過多年的發(fā)展，已整合多方海外廠商渠道，有穩(wěn)定的合作關(guān)系，為企業(yè)提供售賣、維修、售后等一系列節(jié)能降本的服務(wù)。
      池田屋主要經(jīng)營(yíng)日本科學(xué)儀器設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室儀器、各類檢測(cè)儀器、測(cè)量?jī)x器、食品設(shè)備、光學(xué)設(shè)備、精密傳感器等各類工業(yè)流通產(chǎn)品。
      公司擁有專業(yè)的銷售團(tuán)隊(duì)、技術(shù)團(tuán)隊(duì)、資深的管理團(tuán)隊(duì)，通過全體員工的不懈努力，憑借在工業(yè)品領(lǐng)域的專業(yè)水平和成熟技術(shù)，
      服務(wù)于電子消費(fèi)類、半導(dǎo)體，液晶光電，汽車業(yè)、造船業(yè)、地鐵、等專業(yè)用戶里的世界500強(qiáng)企業(yè)。
      規(guī)格
      型號(hào)LR60LR90LR180LR421LR421-T
      最大
      排氣速度      		50Hz62 m3/h
      (1030 L/min)      		112 m3/h
      (1860 L/min)      		183 m3/h
      (3100 L/min)      		440 m3/h
      (7333 L/min)      		440 m3/h
      (7333 L/min)
      60Hz80 m3/h
      (1333 L/min)      		126 m3/h
      (2100 L/min)      		237 m3/h
      (3950 L/min)
      到達(dá)壓力5.0 Pa
      最大排氣壓力 （吸入圧力）　大氣壓
      最大排氣口壓力
      （排出圧力）      		1~ 大氣壓 Pa
      吸氣口 (CE規(guī)格)VG50(KF50)VG80(KF50)VG100
      排氣口KF40VG50
      質(zhì)量180 kg245 kg335 kg415 kg
      電源 *1三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/
      380~440 VAC(50/60 Hz)
      電流值穩(wěn)定時(shí)6.9 A
      (at 200V)      		11.2 A
      (at 200V)      		18.9 A
      (at 200V)      		20.8 A
      (at 200V)
      最大值7.3 A
      (at 200V)      		11.8 A
      (at 200V)      		20.6 A
      (at 200V)      		48.5 A
      (at 200V)
      冷卻水一次壓力0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
      冷卻水出入口壓差>0.1 MPa>0.2 MPa
      冷卻水流量>5.0 L/min>4.0 L/min
      吹掃氣一次壓力0.1~0.5 MPa
      二次壓力0.05~0.1 MPa
      氮?dú)獯祾?/td>軸5 SLM
      氣鎮(zhèn)0~45 SLM沒有0~45 SLM

















      型號(hào)LR300LR600LR1200LR1800LR3601LR3601-T
      (TT)      		LR3601-RLR3601-TR
      (TTR)
      使用泵干式
      真空泵      		LR60LR90LR90LR180LR421LR421-TLR421LR421-T
      機(jī)械
      增壓泵      		PRC-03APRC-06APRC-012APRC-018APRC-036CPRC-036C
      (-T)      		PRC-036DPRC-036D
      (D-T)
      最大
      排氣
      速度      		50Hz359 m3/h
      (5,980
      L/min)      		653 m3/h
      (10,900
      L/min)      		1,012 m3/h
      (16,900
      L/min)      		1,701 m3/h
      (28,350
      L/min)      		3,200 m3/h(53,333 L/min)
      60Hz365 m3/h
      (6,080
      L/min)      		701 m3/h
      (11,700
      L/min)      		1,051 m3/h
      (17,500
      L/min)      		1,784 m3/h
      (29,700
      L/min)
      到達(dá)壓力0.67 Pa
      最大排氣壓力
      （吸入圧力）      		大氣壓
      最大排氣口壓力
      （排出圧力）      		1~ 大氣壓 Pa
      吸氣口 (CE規(guī)格)VG80
      (KF80)      		VG100
      (KF100)      		VG150
      (KF100)      		VG150
      排氣口KF40KF50
      MBP表面處理〇 *1〇 *1〇 *1〇 *1×T:×
      TT:×      		×TR:×
      TTR:〇
      質(zhì)量275 kg370 kg420 kg545 kg660 kg720 kg660 kg720 kg
      電源
      *2      		三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz)
      電流值穩(wěn)定時(shí)7.0 A
      (at 200V)      		12.3 A
      (at 200V)      		13.7 A
      (at 200V)      		21.4 A
      (at 200V)      		31.0 A(at 200V)
      20.5 A(at 400V)      		35.4 A(at 200V)
      20.5 A(at 400V)
      最大值9.6 A
      (at 200V)      		19.0 A
      (at 200V)      		24.2 A
      (at 200V)      		39.8 A
      (at 200V)      		58.4 A(at 200V)
      40.5 A(at 400V)      		82.0 A(at 200V)
      40.5 A(at 400V)
      冷卻水
      一次壓力      		0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
      冷卻水
      出入口壓差      		>0.1 MPa0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
      冷卻水流量>5.0 L/min>4.0 L/min
      吹掃氣一次
      壓力      		0.1~0.5 MPa
      二次
      壓力      		0.05~0.1 MPa
      N2
      吹掃      		軸5 SLM
      氣鎮(zhèn)0~45 SLM沒有 *30~45 SLM沒有 *30~45 SLM




      
               
      
            
      
            
            
      
            	
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        補(bǔ)充說明：
        
			
        
		
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        驗(yàn)證碼：
        
			
        
            	
        
                    
                    
                
        
                請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果（填寫阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7
            
        
		
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                    	企業(yè)名稱：
        池田屋實(shí)業(yè)(深圳)有限公司
        
                    
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                    	聯(lián)系電話：
        0755-22220219
        
                    
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                    	公司地址：
        深圳市龍華區(qū)龍華街道松和社區(qū)匯食街一巷10號(hào)展源商務(wù)大廈 1207
        
                    
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                    	企業(yè)郵箱：
        zx@ikedaya.cn
        
                    
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