您好,歡迎進(jìn)入池田屋實業(yè)(深圳)有限公司網(wǎng)站!
      全國服務(wù)熱線:17503077078

      產(chǎn)品中心/ products

      您的位置:首頁  -  產(chǎn)品中心  -  ULVAC愛發(fā)科  -  真空泵  -  HR1200現(xiàn)貨供應(yīng) ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵

      現(xiàn)貨供應(yīng) ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵

      現(xiàn)貨供應(yīng) ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵
      通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化,實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

      • 更新時間:2024-05-29
      • 產(chǎn)品型號:HR1200
      • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
      • 訪  問  量:460
      立即咨詢

      聯(lián)系電話:0755-22220219

      產(chǎn)品詳情

      現(xiàn)貨供應(yīng) ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 

      現(xiàn)貨供應(yīng) ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 


      特點

      高溫區(qū)域均熱化

      實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。

      UR系列可比HR系列更加高溫化。

      氦氣密封

      通過搭載屏蔽電動機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu),非常安全。

      瞬停對策

      采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。

      出色的耐腐蝕性

      主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內(nèi)部的腐蝕。

      通信功能

      可讀取與泵運轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進(jìn)行計算機(jī)通信,則可實現(xiàn)集中監(jiān)控。


      用途

      CVD裝置

      蝕刻裝置

      灰化裝置

      ALD、ALH 等



      規(guī)格

      型號HR60HR90HR300HR600HR1200
      使用泵干式真空泵HR60HR90HR60HR90HR90
      機(jī)械增壓泵--PRC-003APRC-006APRC-012A
      最大
      排氣速度
      50Hzm3/h
      (L/min)
      62(1030)112(1860)359(5,980)653(10,900)1,012(16,900)
      60Hzm3/h
      (L/min)
      80(1333)126(2100)365(6,080)701(11,700)1,051(17,500)
      到達(dá)壓力Pa50.67
      最大排氣壓力
      (吸入圧力)

      大氣壓 *1
      最大排氣壓力
      (吸入圧力)
      Pa1~ 大氣壓
      吸氣口 (CE規(guī)格)VG50(KF50)VG80(KF50)VG80(KF80)VG100(KF100)
      排氣口KF40
      質(zhì)量kg180245275370420
      電源三相VAC
      (Hz)
      200(50/60), 220(60)
      電流值穩(wěn)定時A7.1
      (at 200V)
      11.2
      (at 200V)
      7.8
      (at 200V)
      12.9
      (at 200V)
      15.4
      (at 200V)
      最大值A7.3
      (at 200V)
      11.8
      (at 200V)
      8.1
      (at 200V)
      13.8
      (at 200V)
      18.9
      (at 200V)
      冷卻水一次圧力MPa0.1~0.3
      冷卻水出入口壓差MPa>0.1
      冷卻水流量L/min>5.0
      吹掃氣一次壓力MPa0.1~0.5
      二次壓力MPa0.05~0.1
      N2吹掃SLM5
      氣鎮(zhèn)SLM0~45



      在線咨詢

      留言框

      • 產(chǎn)品:

      • 您的單位:

      • 您的姓名:

      • 聯(lián)系電話:

      • 常用郵箱:

      • 省份:

      • 詳細(xì)地址:

      • 補充說明:

      • 驗證碼:

        請輸入計算結(jié)果(填寫阿拉伯?dāng)?shù)字),如:三加四=7
      • 企業(yè)名稱:

        池田屋實業(yè)(深圳)有限公司

      • 聯(lián)系電話:

        0755-22220219

      • 公司地址:

        深圳市龍華區(qū)龍華街道松和社區(qū)匯食街一巷10號展源商務(wù)大廈 1207

      • 企業(yè)郵箱:

        zx@ikedaya.cn

      掃碼添加微信

      Copyright © 2025池田屋實業(yè)(深圳)有限公司 All Rights Reserved    備案號:粵ICP備2023000448號

      技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng)    管理登錄    sitemap.xml

      主站蜘蛛池模板: 老司机精品视频免费| jizz在线免费观看| 欧美性大战久久久久久| 哪个网站可以看毛片| 日韩精品免费一级视频| 日本三级香港三级人妇99视| 亚洲欧洲日产国码av系列天堂| 美国omakmanta| 国产成人精品午夜在线播放| 97国产精品视频观看一| 成人国产在线24小时播放视频| 久久香蕉国产线看观看99| 欧美黑人巨大xxxxx视频| 台湾佬中文娱乐11| 三级波多野结衣护士三级| 韩国黄色片在线观看| 国产综合久久久久| 一个人免费视频观看在线www | www羞羞动漫网在线观看| 日本免费高清一本视频| 亚洲一区二区三区国产精华液| 激情内射亚州一区二区三区爱妻| 又硬又大又湿又紧a视频| 金8国欧美系列在线| 国产欧美精品区一区二区三区| 97精品伊人久久大香线蕉| 小信的干洗店1~4| 久久99精品国产麻豆婷婷| 日韩精品久久久久久免费| 亚洲国产av无码精品| 毛片免费视频播放| 免费夜色污私人影院在线观看| 色久综合网精品一区二区 | 中文字幕欧美视频| 日本高清二三四本2021第九页| 亚洲制服丝袜一区二区三区| 欧美黄成人免费网站大全| 伊人亚洲综合网| 精品久久久久久无码国产| 国产a免费观看| 久久人人爽人人爽人人片AV高清 |