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      技術(shù)文章/ article
      
        
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      神港精機(jī)SHINKO SEIKI --ICP金屬蝕刻設(shè)備
      
            
      更新時(shí)間：2024-10-31      瀏覽次數(shù)：379
      
            
      
            	 
      神港精機(jī)SHINKO SEIKI --ICP金屬蝕刻設(shè)備

      這是以納米壓印模具用ICP蝕刻系統(tǒng)“SERIO"的基本結(jié)構(gòu)為基礎(chǔ)，
      針對金屬定制了腔室內(nèi)部結(jié)構(gòu)和氣體系統(tǒng)的最新蝕刻系統(tǒng)。
      兼容最新的半導(dǎo)體和MEMS工藝，我們實(shí)現(xiàn)了Al和Cr的納米級線寬蝕刻。
      與傳統(tǒng)的SERIO相比，它可以蝕刻廣泛的基材和應(yīng)用，包括除
      Si晶圓之外的基材、藍(lán)寶石和GaAs等化合物半導(dǎo)體晶圓、光掩模用玻璃和石英。
      與8英寸晶圓兼容的裝載鎖定類型是標(biāo)準(zhǔn)配置，并且可以根據(jù)工藝進(jìn)行定制，例如加熱臺和更大的腔室。
      與經(jīng)過驗(yàn)證的多室系統(tǒng)相結(jié)合，可以非常輕松地部署到全面的大規(guī)模生產(chǎn)應(yīng)用中。
      配備多個(gè)蝕刻室和一個(gè)SWP灰化室，可以實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)量、一致的金屬膜蝕刻工藝。
      我們使用我們的內(nèi)部演示機(jī)進(jìn)行過程測試，提供好的硬件和軟件來滿足您的需求。
      我們?yōu)榘雽?dǎo)體、MEMS、光掩模、高頻器件、光子器件等從工藝開發(fā)到量產(chǎn)提供可靠的支持。
      
            
      
         	
                                            
        
      
      
      
    
      
  
      

      

 



      
    
      
    	
        
      
        	
            
      
            	
        
                	
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                    	企業(yè)名稱：
        池田屋實(shí)業(yè)(深圳)有限公司
        
                    
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                    	聯(lián)系電話：
        0755-22220219
        
                    
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                    	公司地址：
        深圳市龍華區(qū)龍華街道松和社區(qū)匯食街一巷10號展源商務(wù)大廈 1207
        
                    
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