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      技術文章/ article
      
        
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      SHINKO SEIKI神港--電弧絲式離子鍍裝置（AF-IP裝置）
      
            
      更新時間：2024-10-31      瀏覽次數：346
      
            
      
            	 
      SHINKO SEIKI神港--電弧絲式離子鍍裝置（AF-IP裝置）

      這是一種新型離子鍍設備，利用PVD實現了過去只能利用CVD才能實現商業化的膜類型（厚氧化膜、碳化膜等） 。

      “電弧燈絲型離子鍍裝置"通過蒸發粒子與蒸發源上的熱電子碰撞，有效地使蒸發粒子離子化。此外，
      通過引入的氣體與電離的蒸發顆粒之間的反應，
      可以形成各種致密且高粘附性的反應膜(氮化物膜、氧化物膜、碳化物膜、碳氮化物膜) 。

      現在可以形成厚的氧化膜，這對于傳統的電弧放電離子鍍設備來說是困難的。可以使用電弧絲型離子鍍設備形成的新型PVD薄膜預計將用于
      精密模具和半導體制造設備零件等許多應用。
      對應膜種類
      氧化膜 氧化釔 (Y2O3) *新開發膜
      　　　　氧化鋁 (Al2O3) *新開發膜
      碳化物膜 SiC *新開發膜
      氮化物膜 TiN
      　　　　CrN
      其他各種金屬及反應膜
      
            
      
         	
                                            
        
      
      
      
    
      
  
      

      

 



      
    
      
    	
        
      
        	
            
      
            	
        
                	
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                    	企業名稱：
        池田屋實業(深圳)有限公司
        
                    
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                    	聯系電話：
        0755-22220219
        
                    
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                    	公司地址：
        深圳市龍華區龍華街道松和社區匯食街一巷10號展源商務大廈 1207
        
                    
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