池田屋現貨！！富士金FUJIKIN 數控閥

池田屋現貨！！富士金FUJIKIN 數控閥 FPR-PSD-21-6.35UGC#B
池田屋實業優勢供應，并提供報價圖片

更新時間：2025-07-12
產品型號：FPR-PSD-21-6.35UGC#B
廠商性質：經銷商
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產品詳情

池田屋現貨！！富士金FUJIKIN 數控閥 FPR-PSD-21-6.35UGC#B

富士金（FUJIKIN）是日本的高精度流體控制設備制造商，其產品廣泛應用于半導體、光伏、科研等領域。
FPR-PSD-21-6.35UGC#B 是一款高性能數字控制閥（數控閥），專為高精度氣體流量控制設計，適用于嚴苛的工業環境。

1. 主要特點

高精度控制：流量控制精度可達 ±1% FS（滿量程），適用于微流量調節。

快速響應：開關時間毫秒級（通常20-50ms），適合高速工藝需求。
耐腐蝕材料：閥體通常采用不銹鋼（SUS316L），密封材料可選氟橡膠（FKM）、EPDM等，適用于腐蝕性氣體（如HCl、Cl?、NH?等）。
數字信號控制：支持RS-485、EtherCAT、PROFIBUS等通信協議（具體取決于配置），或模擬信號（4-20mA/0-5V）輸入。
緊湊設計：體積小，適合高密度安裝，節省設備空間。
高可靠性：適用于7×24小時連續運行，壽命長，維護需求低。

2. 典型應用

半導體制造：用于CVD（化學氣相沉積）、蝕刻、離子注入等工藝的氣體流量控制。
光伏行業：在薄膜太陽能電池制造中控制SiH?、NH?、NF?等特種氣體。
實驗室設備：如氣相色譜（GC）、質譜儀（MS）等需要高精度流量控制的場景。

3. 技術參數（示例，具體以數據為準）

項目	參數
型號	FPR-PSD-21-6.35UGC#B
接口尺寸	6.35mm（1/4英寸）
閥體材質	SUS316L（標準）
密封材料	氟橡膠（FKM）或其他可選
工作壓力	0.1~0.7 MPa（可定制更高壓力）
流量范圍	0~50 SLM（標準氮氣，可定制）
控制信號	數字（RS-485/EtherCAT）或模擬（4-20mA/0-5V）
響應時間	≤50ms（全開→全關）
重復精度	±1% FS
環境溫度	0~50°C（可定制高溫/低溫版本）
認證	CE、SEMI（部分型號符合半導體行業標準）

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