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      日本嚴(yán)選!!ULVAC愛發(fā)科大流量干式真空泵

      日本嚴(yán)選!!ULVAC愛發(fā)科大流量干式真空泵 GR60A
      池田屋實(shí)業(yè)優(yōu)勢供應(yīng) ,并提供報(bào)價圖片

      • 更新時間:2025-06-07
      • 產(chǎn)品型號:GR60A
      • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
      • 訪  問  量:123
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      聯(lián)系電話:0755-22220219

      產(chǎn)品詳情

      日本嚴(yán)選!!ULVAC愛發(fā)科大流量干式真空泵 GR60A

      日本嚴(yán)選!!ULVAC愛發(fā)科大流量干式真空泵 GR60A


      干泵"Model:GR"是以獲得良好業(yè)績和信賴的"Model:LR/HR"為基礎(chǔ)設(shè)計(jì)的,面向一般產(chǎn)業(yè)設(shè)計(jì)的簡單結(jié)構(gòu)的泵。

      特點(diǎn)

      • 可應(yīng)用于大氣真空間反復(fù)抽氣的高負(fù)荷領(lǐng)域,可在高負(fù)荷下持續(xù)使用。

      • 適用load lock室(裝載/卸載室),可實(shí)現(xiàn)高吞吐量。

      • 感應(yīng)電機(jī)可通用

      • 可以安裝防爆電機(jī)等特殊電機(jī)(可選)

      • 采用多電壓兼容電機(jī)

      用途

      • 空氣、惰性氣體等潔凈氣體的真空排氣

      • 各種成膜設(shè)備放入取出室的真空排氣

      • 真空干燥,真空氣體置換和真空脫泡等一般產(chǎn)業(yè)

      • 真空氣體置換,如真空熱隔絕和氣體填充

      規(guī)格

      型號

      GR60A

      GR90A

      GR180A

      最大排氣速度

      50Hz

      m3/h(L/min)

      62(1030)

      112(1860)

      183(3100)

      60Hz

      m3/h(L/min)

      80(1333)

      126(2100)

      237(3850)

      極限壓力 *1

      Pa

      5.0

      最大排氣壓力(吸入圧力)

      大氣壓

      最大排氣口壓力(排出圧力)

      Pa

      1.0 ~ 大氣壓

      吸氣口

      VG50

      VG80

      排氣口

      NW40

      DRP表面處理

      電機(jī)

      輸出 [kW]

      2.2

      3.7

      7.5

      電壓 [V]

      50Hz

      200~240/380~415

      60Hz

      200~240/380~460

      質(zhì)量

      kg

      128

      188

      268

      冷卻方式

      冷卻水
      一次供給壓力

      MPa

      0.1~0.3

      冷卻水
      出入口壓差

      MPa

      >0.1

      冷卻水溫度

      10~30 *2

      冷卻水流量

      L/min

      >5.0

      氮?dú)?/span>

      一次側(cè)
      供給圧力

      MPa

      0.1~0.5

      二次側(cè)
      調(diào)整圧力 *3

      MPa

      0.05 to 0.1 (運(yùn)作時)

      SLM

      5.0 *4

      *1 極限壓力是氮?dú)猓ㄝS封氣體)為5.0 SLM時的值。
      *2 不結(jié)露。
      *3 通過調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)壓力計(jì)值。
      *4 氮?dú)猓ㄝS封氣體)的流量固定為5.0SLM。


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