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      優勢!!EBARA荏原 干式真空泵 ESA型

      優勢!!EBARA荏原 干式真空泵 ESA型 ESA200W
      池田屋實業優勢供應 ,并提供報價圖片

      • 更新時間:2025-04-24
      • 產品型號:ESA200W
      • 廠商性質:經銷商
      • 訪  問  量:286
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      聯系電話:0755-22220219

      產品詳情

      優勢!!EBARA荏原 干式真空泵 ESA型 ESA200W

      優勢!!EBARA荏原 干式真空泵 ESA型 ESA200W


      ESA類型

      可排出氫氣等輕質氣體并對大型腔室進行高速排氣的干式真空泵

      大型真空室,高速排氣

      有機溶劑兼容選項

      氫氣和其他輕氣體的尾氣

      耐腐蝕材料選項

      無油

      CE 標志/SEMI-S2/NRTL 兼容

      非常適合研究機構

      吸附特定化學物質

      產品介紹

      ESA型備有適合氫氣等輕質氣體排氣的排氣量1,400L/min~10,000L/min的型號,以及適合大型腔室高速排氣的排氣量20,000L/min~80,000L/min的型號。容量為 10,000 L/min 或更低的型號適用于輕質氣體排放,并具有緊湊的設計和耐腐蝕材料選項。它們是 MO-CVD 等高流量輕氣體排氣應用的理想選擇。大型機型雖然排氣量大,但運行安靜、振動低,并且還提供有機溶劑排氣選件,非常適合用于液晶濺射設備、真空干燥工藝、大型負載鎖等。


      規格

      模型

      單元

      ESA15-D

      ESA25-D

      ESA25XW

      ESA70W(-D)

      ESA70WN(-D)

      ESA80W-HDF

      ESA80WN-HDF

      ESA100W

      ESA100WN

      ESA200W

      ESA300W

      ESA500W

      ESA700W

      抽速

      升/分鐘

      1,400(50赫茲)

      2,500(50赫茲)

      5,000(50赫茲)

      7,000(50赫茲)

      7,000(50赫茲)

      8,400(50赫茲/60赫茲)

      8,400(50赫茲/60赫茲)

      10,000(50赫茲/60赫茲)

      10,000(50赫茲/60赫茲)

      20,000(50赫茲/60赫茲)

      28,000(50赫茲)

      47,000(50赫茲)

      80,000(50赫茲/60赫茲)

      1,700(60赫茲)

      3,000(60赫茲)

      6,000(60赫茲)

      8,400(60赫茲)

      8,400(60赫茲)

      30,000(60赫茲)

      50,000(60赫茲)

      極限壓力

      爸爸

      400(50赫茲)

      5.3(50赫茲)

      5.3(50赫茲)

      0.27(50赫茲)

      0.4(50赫茲)

      0.13

      0.27

      0.13

      0.27

      0.53

      0.53

      0.53

      0.5

      270(60赫茲)

      4.0(60赫茲)

      4.0(60赫茲)

      0.13(60赫茲)

      0.27(60赫茲)

      連接尺寸

      進氣口


      NW40

      NW50

      ISO80

      NW50

      NW50

      NW50

      NW50

      NW50

      NW50

      NW80

      ISO100

      ISO160

      ISO160

      排氣口


      NW40

      NW40

      NW40

      NW40

      NW40

      NW40

      NW40

      NW40

      NW40

      NW40

      NW40

      NW40

      NW50

      極限壓力下的近似功率值

      千瓦

      2.9(50赫茲)

      2.6(50赫茲)

      5.2(50赫茲)

      3.6(50赫茲)

      3.6(50赫茲)

      4.2

      4.2

      4.9

      4.9

      3.2(50赫茲)

      6.6(50赫茲)

      5.1(50赫茲)

      7.4

      3.2(60赫茲)

      2.9(60赫茲)

      5.8(60赫茲)

      4.0(60赫茲)

      4.0(60赫茲)

      3.4(60赫茲)

      7.3(60赫茲)

      6.7(60赫茲)

      冷卻水

      流動

      升/分鐘

      3.5~8

      3.5~8

      7~16

      3.5~8

      3.5~8

      3.5~8

      3.5~8

      3.5~8

      3.5~8

      3.5~8

      6~9

      6~9

      6~9

      溫度

      最大限度。三十

      最大限度。三十

      最大限度。三十

      最大限度。三十

      最大限度。三十

      最大限度。三十

      最大限度。三十

      最大限度。三十

      最大限度。三十

      最大限度。三十

      最大限度。三十

      最大限度。三十

      最大限度。三十

      氮氣

      流動

      帕•立方米/秒

      14~17(4.6)

      17~20(3.8)

      34~40

      24~27(4.7)

      24~27(4.7)

      54~57

      54~57

      54~57

      54~45

      17~20(3.8)

      7.5~10.5

      8.5~11

      8.5~11

      電源相位/電壓/頻率

      200V型號


      三相/200V/50Hz
      三相/200-220V/60Hz

      三相/200V/50Hz
      三相/200-220V/60Hz

      三相/200V/50Hz
      三相/200-220V/60Hz

      三相/200V/50Hz
      三相/200-220V/60Hz

      三相/200V/50Hz
      三相/200-220V/60Hz

      三相/200V/50Hz
      三相/200-220V/60Hz

      三相/200V/50Hz
      三相/200-220V/60Hz

      三相/200V/50Hz
      三相/200-220V/60Hz

      三相/200V/50Hz
      三相/200-220V/60Hz

      三相/200V/50Hz
      三相/200-220V/60Hz

      三相/200V/50Hz
      三相/200-220V/60Hz

      三相/200V/50Hz
      三相/200-220V/60Hz

      三相/200V/50Hz
      三相/200-220V/60Hz

      400V型號


      三相/380-400V/50Hz
      三相/380-440V/60Hz

      三相/380-400V/50Hz
      三相/380-440V/60Hz

      三相/380-400V/50Hz
      三相/380-440V/60Hz

      三相/380-400V/50Hz
      三相/380-440V/60Hz

      三相/380-400V/50Hz
      三相/380-440V/60Hz

      三相/380-400V/50Hz
      三相/380-440V/60Hz

      三相/380-400V/50Hz
      三相/380-440V/60Hz

      三相/380-400V/50Hz
      三相/380-440V/60Hz

      三相/380-400V/50Hz
      三相/380-440V/60Hz

      三相/380-400V/50Hz
      三相/380-440V/60Hz

      三相/380-400V/50Hz
      三相/380-440V/60Hz

      三相/380-400V/50Hz
      三相/380-440V/60Hz

      -

      460V型號












      三相/440V/50Hz
      三相/440-480V/60Hz

      三相/440V/50Hz
      三相/440-480V/60Hz

      三相/440V/50Hz
      三相/440-480V/60Hz

      供電容量

      千伏安

      6.4

      6.4

      12.8

      10.3

      10.3

      12.6

      12.6

      12.6

      12.6

      12

      23.7

      41.3

      46.5

      近似質量

      公斤

      240

      240

      480

      380

      380

      400

      400

      400

      400

      410

      700

      750

      1200














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        深圳市龍華區龍華街道松和社區匯食街一巷10號展源商務大廈 1207

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