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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

EBARA荏原

干式真空泵

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原廠直銷！！EBARA荏原干式真空泵 EST型

原廠直銷！！EBARA荏原干式真空泵 EST型 EST10N
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更新時(shí)間：2025-03-24
產(chǎn)品型號(hào)：EST10N
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
訪問(wèn) 量：219

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產(chǎn)品詳情

原廠直銷！！EBARA荏原干式真空泵 EST型 EST10N

原廠直銷！！EBARA荏原干式真空泵 EST型 EST10N

EST 類型

干式真空泵可抽取大量氣體，適用于反應(yīng)副產(chǎn)物

高溫控制

高抽速

高流量排氣

采用耐腐蝕材料作為標(biāo)準(zhǔn)

提高耐腐蝕性的選擇

高負(fù)荷工藝支持

不同頻率下性能相同（50/60Hz）

無(wú)油

符合 CE 標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL 要求

產(chǎn)品介紹

EST型采用螺桿轉(zhuǎn)子，并配備高溫功能，可使泵內(nèi)的氣體保持高溫，非常適合CVD等產(chǎn)生反應(yīng)副產(chǎn)物的應(yīng)用。

標(biāo)準(zhǔn)采用耐腐蝕材料，實(shí)現(xiàn)高抽速和大流量，減少停機(jī)時(shí)間并提高工藝效率。

規(guī)格

模型		單元	EST10N	EST25N	EST100WN	EST200WN	EST300WN	EST500WN	EST800WN
抽氣速度		升/分鐘	1,000	2,500	10,000	20,000	30,000	5萬(wàn)	8萬(wàn)
極限壓力		帕	2.7	0.4	0.4	0.4	0.4	0.4	0.5
連接尺寸	進(jìn)氣		NW40	NW40	NW50	NW100	NW100	ISO160	ISO200
連接尺寸	排氣口		NW40	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40
極限壓力下的近似功率值		千瓦	2.3	3	3.2	3.2	4.5	4.6	4.6
冷卻水	流動(dòng)	升/分鐘	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8
冷卻水	溫度	℃	最大限度。三十	最大限度。三十	最大限度。三十	最大限度。三十	最大限度。三十	最大限度。三十	最大限度。三十
氮?dú)?/td>	流動(dòng)	帕•立方米/秒	13~18	13~18	24~29	24~29	28~31	28~31	28~31
電源相位/電壓/頻率	200V 型號(hào)		三相/200-220V，50/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz
電源相位/電壓/頻率	400V 型號(hào)		三相/380-440V，50/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	-
供電容量		千伏安	4.6	7.3	8.2	8.5	12.7	15.1	16
近似質(zhì)量		公斤	260	300	380	430	500	550	840

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