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      EBARA荏原 高負荷工藝干式真空泵 半導體用

      EBARA荏原 高負荷工藝干式真空泵 半導體用 EV-M505SF
      池田屋實業優勢供應 ,并提供報價圖片

      • 更新時間:2025-03-22
      • 產品型號:EV-M505SF
      • 廠商性質:經銷商
      • 訪  問  量:242
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      聯系電話:0755-22220219

      產品詳情

      EBARA荏原 高負荷工藝干式真空泵 半導體用   EV-M505SF

      EBARA荏原 高負荷工藝干式真空泵 半導體用   EV-M505SF

      EV-M型

      適合節能和高負荷工藝的干式真空泵

      高負荷工藝支持
      高溫控制
      節能
      采用耐腐蝕材料作為標準
      提高耐腐蝕性的選擇
      不同頻率下性能相同(50/60Hz)
      無油
      符合 CE 標志/SEMI-S2/NRTL 要求

      產品介紹

      荏原的高溫技術支持半導體、液晶顯示器和太陽能電池制造過程中產生反應副產物的高負荷工藝。

      高節能性能可同時實現高負荷工藝和節能。

      標準配置為耐腐蝕材料,并且還包括排量為110,000 L/min的大排量型號。

      我們擁有適合各種工藝條件的豐富產品陣容,能夠處理各種高負荷工藝。


      規格

      模型單元EV-M20NEV-M102NEV-M202NEV-M302NEV-M502NEV-M505SFEV-M802NEV-M805SFEV-M1205SF
      抽氣速度升/分鐘1,80010,00020,00030,0005萬5萬8萬8萬110,000
      極限壓力50.50.50.50.50.50.50.50.5
      連接尺寸進氣
      NW40ISO100ISO100ISO100ISO160ISO160ISO200ISO200ISO200
      排氣口
      NW40NW40NW40NW40NW40NW40NW40NW40NW40
      極限壓力下的近似功率值千瓦1.21.81.92.32.13.92.84.65.3
      冷卻水流動升/分鐘3~83~83.5~84~85~85~85~85~85~8
      溫度最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30
      氮氣流動帕•立方米/秒26~3126~3126~3126~3128~3322828~3322834~35
      電源相位/電壓/頻率200V 型號
      三相/200V/50Hz
      三相/200-220V/60Hz
      三相/200V/50Hz
      三相/200-220V/60Hz
      三相/200V/50Hz
      三相/200-220V/60Hz
      三相/200V/50Hz
      三相/200-220V/60Hz
      三相/200V/50Hz
      三相/200-220V/60Hz
      三相/200V/50Hz
      三相/200-220V/60Hz
      三相/200V/50Hz
      三相/200-220V/60Hz
      三相/200V/50Hz
      三相/200-220V/60Hz
      三相/200V/50Hz
      三相/200-220V/60Hz
      400V 型號
      三相/380-400V/50Hz
      三相/380-440V/60Hz
      三相/380-400V/50Hz
      三相/380-440V/60Hz
      三相/380-400V/50Hz
      三相/380-440V/60Hz
      三相/380-400V/50Hz
      三相/380-440V/60Hz
      三相/380-400V/50Hz
      三相/380-440V/60Hz
      -三相/380-400V/50Hz
      三相/380-440V/60Hz
      三相/380-400V/50Hz
      三相/380-440V/60Hz
      三相/380-400V/50Hz
      三相/380-440V/60Hz
      供電容量千伏安3.35.466.87.115.78.319.414.2
      近似質量公斤170320360400500580740820870








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