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      直供!!EBARA荏原 半導體用干式真空泵

      直供!!EBARA荏原 半導體用干式真空泵 EV-S30P
      池田屋實業優勢供應 ,并提供報價圖片

      • 更新時間:2025-03-21
      • 產品型號:EV-S30P
      • 廠商性質:經銷商
      • 訪  問  量:138
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      聯系電話:0755-22220219

      產品詳情

      直供!!EBARA荏原  半導體用干式真空泵    EV-S30P

      直供!!EBARA荏原  半導體用干式真空泵    EV-S30P



      EV-S型

      節能、節省空間的干式真空泵

      節能
      緊湊輕便
      耐腐蝕材料選項
      提供 N2 吹掃型號
      不同頻率下性能相同(50/60Hz)
      無油
      符合 CE 標志/SEMI-S2/NRTL 要求

      產品介紹

      我們的轉子設計和空轉功能實現了高水平的節能和緊湊性。這有助于降低運行成本。

      此外,還提供耐腐蝕材料選項,可用于廣泛的應用,從輕負載應用(例如負載鎖和 SEM)到腐蝕過程。


      規格

      模型單元EV-S20EV-S20P/NEV-S30EV-S30PEV-S50EV-S50P/NEV-S100EV-S100P/NEV-S200EV-S200P/N
      抽氣速度升/分鐘1,6701,6703,3003,3005,0005,00010,00010,00020,00020,000
      極限壓力350.51.00.50.50.50.50.50.5
      連接尺寸進氣
      NW50NW50NW50NW50NW50NW50NW80NW80NW100NW100
      排氣口
      NW25NW25NW25NW25NW25NW25NW25NW25NW40NW40
      極限壓力下的近似功率值千瓦0.40.40.40.40.550.550.650.650.750.75
      冷卻水流動升/分鐘1.5~3.01.5~3.01.5~3.01.5~3.02.0~3.02.0~3.02.0~3.02.0~3.02.0~3.02.0~3.0
      溫度最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30
      氮氣流動帕•立方米/秒-17–20 (2.4)-17–20 (2.4)
      17–20 (2.4)
      17–20 (2.4)
      17–20 (2.4)
      電源相位/電壓/頻率200V 型號
      三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz
      400V 型號
      三相/380-440V,50/60Hz三相/380-440V,50/60Hz--三相/380-440V,50/60Hz三相/380-440V,50/60Hz三相/380-440V,50/60Hz三相/380-440V,50/60Hz三相/380-440V,50/60Hz三相/380-440V,50/60Hz
      供電容量千伏安3.23.23.63.64.84.86.46.46.86.8
      近似質量公斤60609090100100120120170170



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