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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

ULVAC愛(ài)發(fā)科

真空泵真空計(jì)

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ULVAC愛(ài)發(fā)科多級(jí)羅茨型干泵真空泵

ULVAC愛(ài)發(fā)科多級(jí)羅茨型干泵真空泵
通過(guò)高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵

更新時(shí)間：2024-05-29
產(chǎn)品型號(hào)：UR600
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
訪問(wèn) 量：424

立即咨詢

聯(lián)系電話：0755-22220219

產(chǎn)品詳情

ULVAC愛(ài)發(fā)科多級(jí)羅茨型干泵真空泵

ULVAC愛(ài)發(fā)科多級(jí)羅茨型干泵真空泵

特點(diǎn)

高溫區(qū)域均熱化

實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。

UR系列可比HR系列更加高溫化。

氦氣密封

通過(guò)搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。

瞬停對(duì)策

采取了1000msec以內(nèi)瞬停對(duì)策。

出色的耐腐蝕性

主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對(duì)泵內(nèi)部的腐蝕。

通信功能

可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用專用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信，則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。

用途

CVD裝置

蝕刻裝置

灰化裝置

ALD、ALH 等

規(guī)格

型號(hào)		UR421-T		UR600		UR1200	UR1800	UR3601-TT
使用泵	干式真空泵	UR421-T		UR90		UR90	UR180	UR421-T
	機(jī)械增壓泵	-		PRC-006A		PRC-012A	PRC-018A	PRC-036C-T
最大排氣速度	50Hz	410 m³/h (6833 L/min)		653 m³/h (10883 L/min)		1012 m³/h (16867 L/min)	1701 m³/h (28350 L/min)	2700 m³/h (45000 L/min)
到達(dá)壓力		5.0 Pa
最大排氣壓力（吸入圧力）		大氣壓
最大排氣口壓力（排出圧力）		1.0~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規(guī)格)		VG100		VG80(NW80)		VG100(NW100)	VG150(NW100)	VG150
排氣口		VG50		NW40				NW50
質(zhì)量		415 kg		370 kg		403 kg	553 kg	720 kg
電源 *2	三相	180～240 VAC/ 380～440 VAC (50/60 Hz)		200 VAC(50/60 Hz) /220 VAC(60 Hz)				180～240 VAC/ 380～440 VAC (50/60 Hz)
電流值	穩(wěn)定時(shí)	23 A(at 200V)		16.4 A(at 200V)		18.9 A(at 200V)	29.2 A(at 200V) 20.5 A(at 400V)	39.8 A(at 200V) 20.5 A(at 400V)
	最大值	52.5 A(at 200V)		17.3 A(at 200V)		22. 4 A(at 200V)	34.9 A(at 200V) 40.5 A(at 400V)	68.3 A(at 200V) 40.5 A(at 400V)
冷卻水一次壓力		0.2~0.5 Mpa		0.1~0.3 Mpa				0.2~0.5 Mpa
冷卻水出入口壓差		>0.2 Mpa		>0.1 Mpa		>0.1 Mpa	>0.1 Mpa	>0.2 Mpa
冷卻水流量		>5.0 L/min
吹掃氣	一次壓力	0.1~0.5 Mpa
	二次壓力	0.05~0.1 Mpa
N2吹掃	軸	5 SLM
	氣鎮(zhèn)	0~195 SLM		0~45 SLM			0~195 SLM	0~195 SLM

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